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【东京电子瞄准1纳米半导体设备加强外部合作】由于半导体新技术开发难度提高,日本设备厂商东京电子将加强外部合作,参加比利时研究机构IMEC主导的联盟。东京电子将提供新型涂布显影设备,搭配新一代EUV光刻设备使用。力争在2025~20… , page 395
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